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壓差式質(zhì)量流量控制器 D500
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產(chǎn)品詳情
壓力不敏感性能
高性能壓力補(bǔ)償新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng)
多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶(hù)改變氣體類(lèi)型、滿(mǎn)量程流量和供壓范圍
G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能
先進(jìn)的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試,即使提高通過(guò)量,通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。
高精度
先進(jìn)的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度
快速響應(yīng)
響應(yīng)時(shí)間:< 0.8 秒
可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制
動(dòng)態(tài)范圍
控制范圍廣:0.2% 滿(mǎn)量程 至 100% 滿(mǎn)量程
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